Маалымат жана оптоэлектроника тармагындагы тез өнүгүү химиялык механикалык жылмалоо (CMP) технологиясын үзгүлтүксүз жаңыртууга өбөлгө түздү.Жабдуулардан жана материалдардан тышкары, өтө жогорку тактыктагы беттерди алуу жогорку эффективдүү абразивдүү бөлүкчөлөрдү долбоорлоого жана өнөр жайлык өндүрүшкө, ошондой эле тиешелүү жылтыратуу шламын даярдоого көбүрөөк көз каранды.Ал эми беттик иштетүү тактык жана натыйжалуулук талаптарын тынымсыз жакшыртуу менен, жогорку натыйжалуу жылмалоо материалдар үчүн талаптар да жогору жана жогору болуп жатат.Церийдин диоксиди микроэлектрондук түзүлүштөрдү жана так оптикалык компоненттерди беттик тактык менен иштетүүдө кеңири колдонулат.
Cerium оксиди жылмалоо порошок (VK-Ce01) жылмалоо порошок күчтүү кесүү жөндөмдүүлүгү, жогорку жылмалоо натыйжалуулугу, жогорку жылма тактык, жакшы жылмалоо сапаты, таза иштөө чөйрөсү, аз булгануу, узак кызмат мөөнөтү, ж.б. артыкчылыктарга ээ жана көп колдонулат. оптикалык так жылмалоо жана CMP, ж.б. талаа өтө маанилүү орунду ээлейт.
Церий кычкылынын негизги касиеттери:
Ceria, ошондой эле cerium оксиди катары белгилүү, церий бир оксиди болуп саналат.Бул учурда церийдин валенттүүлүгү +4, химиялык формуласы CeO2.Таза продукт ак оор порошок же куб кристалл, ал эми таза эмес продукт ачык сары же алтургай кызгылтымдан кызгылт күрөң түстөгү порошок болуп саналат (анткени анын курамында лантан, празеодим ж.б. микроэлементтер бар).Бөлмө температурасында жана басымда церия церийдин туруктуу оксиди болуп саналат.Церий дагы +3 валенттүү Ce2O3 түзө алат, ал туруксуз жана O2 менен туруктуу CeO2 түзөт.Церий оксиди сууда, щелочто жана кислотада бир аз эрийт.Тыгыздыгы 7,132 г/см3, эрүү температурасы 2600 ℃, кайноо температурасы 3500 ℃.
Церий кычкылынын жылтыратуучу механизми
CeO2 бөлүкчөлөрүнүн катуулугу жогору эмес.Төмөндөгү таблицада көрсөтүлгөндөй, церий оксидинин катуулугу алмаз жана алюминий оксидине караганда бир топ төмөн, ошондой эле темир оксидине барабар болгон цирконий кычкылына жана кремний оксидине караганда төмөн.Демек, силикат айнеги, кварц айнеги ж.б. сыяктуу кремний кычкылынын негизиндеги материалдарды механикалык көз карашта гана катуулугу төмөн церия менен тазалоо техникалык жактан мүмкүн эмес.Бирок, церий оксиди учурда кремний кычкылынын негизиндеги материалдарды, ал тургай кремний нитридинин материалдарын жылтыратууда артыкчылыктуу жылтыраткыч порошок болуп саналат.Бул церий кычкылы жылтыратуу, ошондой эле механикалык таасири тышкары башка таасирлери бар экенин көрүүгө болот.Көбүнчө колдонулган майдалоочу жана жылмалоочу материал болгон алмаздын катуулугу, адатта, CeO2 торчосунда кычкылтек боштугуна ээ, бул анын физикалык жана химиялык касиеттерин өзгөртөт жана жылмалоо касиетине белгилүү бир таасирин тийгизет.Көбүнчө колдонулган церий кычкылы жылтыраткыч порошок башка сейрек кездешүүчү оксиддердин белгилүү бир өлчөмүн камтыйт.Praseodymium кычкылы (Pr6O11) башка lanthanide сейрек кездешүүчү жер оксиддери эч кандай жылтыратуу жөндөмүнө ээ, ал эми жылтыратуу үчүн ылайыктуу болуп саналат, ошондой эле бет борборлоштурулган куб тор түзүлүшкө ээ.CeO2 кристаллдык түзүлүшүн өзгөртпөстөн, аны менен белгилүү бир диапазондо катуу эритме түзө алат.Жогорку тазалыктагы нано-церий кычкылы жылтыраткыч порошок (VK-Ce01) үчүн, церий оксидинин (VK-Ce01) тазалыгы канчалык жогору болсо, жылтыратуу жөндөмдүүлүгү ошончолук көп жана кызмат мөөнөтү узак болот, айрыкча катуу айнек жана кварц оптикалык линзалар үчүн узак убакыт.Циклдик жылмалоодо жогорку тазалыктагы церий кычкылынын жылмалоочу порошокту (VK-Ce01) колдонуу максатка ылайыктуу.
Cerium оксиди жылмалоо порошок колдонуу:
Cerium кычкылы жылтыратуучу порошок (VK-Ce01), негизинен айнек буюмдарын жылтыратып үчүн колдонулат, ал негизинен төмөнкү тармактарда колдонулат:
1. Көз айнек, айнектин линзасын жылтыратуу;
2. Оптикалык линза, оптикалык айнек, линза ж.б.;
3. Уюлдук телефондун экранынын айнеги, сааттын бети (саат эшиги) ж.б.;
4. ЖК монитор ЖК экрандын бардык түрлөрү;
5. Rhinestones, ысык бриллианттар (карталар, джинсы бриллианттары), жарык берүүчү шарлар (чоң залдагы люкс люстралар);
6. Кристалдан жасалган кол өнөрчүлүк;
7. Нефритти жарым-жартылай жылмалоо
Учурдагы церий кычкылынын жылтыраткыч туундулары:
Оптикалык айнекти жылтыратууну кыйла жакшыртуу үчүн церий оксидинин бети алюминий менен аралаштырылат.
UrbanMines Tech компаниясынын технологиялык изилдөө жана өнүктүрүү бөлүмү.Limited, жылмалоочу бөлүкчөлөрдү аралаштыруу жана беттик модификациялоо CMP жылмалоонун натыйжалуулугун жана тактыгын жогорулатуунун негизги ыкмалары жана ыкмалары болуп саналат деп сунуштады.Анткени бөлүкчөлөрдүн касиеттери көп компоненттүү элементтердин кошулмасы менен жөнгө салынышы мүмкүн, ал эми жылтыратуу шламынын дисперстик туруктуулугу жана жылтыратуу эффективдүүлүгү беттик модификация аркылуу жакшыртылышы мүмкүн.TiO2 менен кошулган CeO2 порошоктун даярдоо жана жылмалоо көрсөткүчтөрү жылтыратуу эффективдүүлүгүн 50% дан ашык жакшыртат, ошол эле учурда жер үстүндөгү кемчиликтер да 80% га кыскарат.CeO2 ZrO2 жана SiO2 2CeO2 курама оксиддеринин синергетикалык жылмалоочу эффектиси;ошондуктан жаңы жылмалоочу материалдарды иштеп чыгуу жана жылмалоо механизмин талкуулоо үчүн допдалган ceria микро-нано композиттик оксиддерди даярдоо технологиясы чоң мааниге ээ.Допингдин өлчөмүнөн тышкары, синтезделген бөлүкчөлөрдөгү кошумча заттын абалы жана бөлүштүрүлүшү да алардын беттик касиеттерине жана жылтыратуучу натыйжалуулугуна чоң таасирин тийгизет.
Алардын ичинен каптоо структурасы менен жылмалоочу бөлүкчөлөрдүн синтези жагымдуураак.Ошондуктан, синтетикалык ыкмаларды жана шарттарды тандоо да абдан маанилүү, өзгөчө жөнөкөй жана экономикалык жактан натыйжалуу болгон ыкмалар.Негизги чийки зат катары гидратталган церий карбонатын колдонуу менен алюминий кошулган церий кычкылынын жылмалоочу бөлүкчөлөрү нымдуу катуу фазалуу механикалык химиялык ыкма менен синтезделди.Механикалык күчтүн таасири астында гидраттуу церий карбонатынын чоң бөлүкчөлөрү майда бөлүкчөлөргө айланышы мүмкүн, ал эми алюминий нитраты аммиак суусу менен реакцияга кирип, аморфтук коллоиддик бөлүкчөлөрдү пайда кылат.Коллоиддик бөлүкчөлөр церий карбонаты бөлүкчөлөрүнө оңой жабышып, кургатуу жана кальцинациялоодон кийин церий кычкылынын бетинде алюминий аралаштырууга жетишүүгө болот.Бул ыкма ар кандай өлчөмдөгү алюминий аралашмасы менен церий оксидинин бөлүкчөлөрүн синтездөө үчүн колдонулган жана алардын жылмалоо көрсөткүчтөрү мүнөздөлгөн.Церий кычкылынын бөлүкчөлөрүнүн бетине тиешелүү өлчөмдө алюминий кошулгандан кийин, беттик потенциалдын терс мааниси көбөйөт, бул өз кезегинде абразивдүү бөлүкчөлөрдүн ортосундагы ажырымды пайда кылат.Күчтүү электростатикалык түртүү бар, бул абразивдүү суспензиянын туруктуулугун жогорулатууга көмөктөшөт.Ошол эле учурда, кулон тартуу аркылуу абразивдик бөлүкчөлөр менен оң заряддуу жумшак катмардын ортосундагы өз ара адсорбция да күчөйт, бул жылмаланган айнек бетиндеги абразивдик жана жумшак катмардын ортосундагы өз ара байланыш үчүн пайдалуу жана жылмалоо ылдамдыгын жакшыртуу.